【要聞中心／綜合報導】卡達能源公司（Qatar Energy）本月4日聲明，因戰爭的「不可抗力（force majeure）」因素，全面停止生產液化天然氣及相關產品，引發市場對半導體供應鏈、氦氣供應中斷擔憂，恐衝擊半導體產能。經濟部產業發展署今天（13日）表示，台灣半導體相關業者還可從美國、澳洲等多元來源取得氦氣，整體供應穩定，將密切追蹤後續供應情況。
氦氣是半導體製造中矽晶圓冷卻的關鍵材料，尤其在先進製程的低溫退火、晶圓傳輸環節無可取代。此外，在微影雷射與洩漏檢測等工序，也會使用到氦氣。
氦氣與一般工業氣體不同，無法透過人工合成，且在地球大氣層中的含量極低，幾乎所有商用氦氣都是從深層天然氣田中提取出來的副產品。
全球氦氣來源主要集中在以下幾個地區：卡達、約佔全球 30%到40% 出口量，是目前全球重要的氦氣出口國。美國的氦氣全球市佔率40%，擁有全球唯一的戰略氦氣儲備、位於德州。 隨著卡達的氦氣供應中斷，美國成為氦氣最重要的補給來源。
《日經亞洲》報導指出，隨著荷莫茲海峽（Strait of Hormuz）航運安全風險升高，外界擔心氦氣、液化天然氣及部分半導體材料供應可能受影響，其中氦氣是晶圓製程冷卻與鍍膜的重要氣體來源。南韓政府已針對14種高度依賴中東的半導體材料與設備展開供需調查，根據南韓貿易協會數據，卡達占南韓去年氦氣進口量約65%。
報導也指出，南韓與台灣是全球重要晶片生產基地，各自占全球半導體產能約18%，若再加上日本約15%，三者合計約占全球產能一半，一旦中東局勢導致能源或材料供應中斷，可能影響全球晶片供應。
針對外界關心台灣氦氣來源是否受到影響，經濟部今天表示，氦氣勢開採天然氣的副產品，常用於半導體製程、焊接保護及氣球填充等用途。因中東價格較為便宜，過去國內氦氣主要進口來源為卡達，但目前已與台灣氣體供應業者確認，業者都可透過國際供應商與替代來源國取得氦氣，包括美國、澳洲等，整體供應來源穩定。
經濟部補充，氦氣在半導體製程中主要作為鍍膜載氣與設備冷卻用途，多採回收再利用，新料僅作為補充使用，實際用量少。
經濟部表示，將持續掌握國際市場動態與國內產業需求，確保台灣半導體產業及其他相關產業的氦氣供應無虞。
